薄膜材料磁导率测试

厚度小于1微米的膜材料，称为薄膜材料，主要应用领域为半导体功能器件和光学镀膜领域。针对薄膜材料的介电常数和磁导率，同惠的TH2851阻抗分析仪配合相关夹具及软件，推出了全套的解决方案。

具体方案

• 测试对象：薄膜，厚度10μm-100μm

• 测试要求：频率1-20MHz；磁导率范围50-200

通过在磁性材料周围缠绕导线并测量导线末端的阻抗，复磁导率是通过测量磁性材料的阻抗参数计算得来的。TH26088是专为测量磁性材料的磁导率而设计的夹具，可配置单匝电感器，并将材料模制成环形，单匝电感器中没有漏磁，夹具中的磁场严格按照电磁理论计算。

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