TSP-2000-MICR 微小材料电阻测试(半导体解决方案)

零式未来
2019-11-12
来源:原创


微小电阻测试方案


系统背景

电阻测试是表征材料特性的较常用的测试手段,在某些应用中,用户需要进行极端微小电阻(Ultra-low resistance)测试,例如纳米材料,超导材料,继电器开关,低电阻材料、连接器的测试,或者精密的热量测定和研究领域。这些被测件通常具有非常高的导电性和非常小的电阻阻值,对测试连接方案有很大挑战。在进行这类材料和器件的测试过程中,为了最大限度的降低被测设备的自热效应,确保待测件的安全和测量的准确性,通常会使用加流测压的方式,在被测物两端施加可控的微弱精密电流信号,通过欧姆定律测定被测件的电阻阻值。

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   上图为融化断裂的纳米管,由于施加电流过大自热引起断裂

在微小电阻测试领域,泰克公司提供的微小电阻测试方案,通过使用吉时利高精度电流源 622X(100fA~100mA 输出可调)或 2400 系列源表,以及纳伏表 2182A(1nV 灵敏度)组合成为完备的测试解决方案,完美解决了在微小电阻测试过程中经常遇到的问题,使电阻测量灵敏度高达 10nΩ。

配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位机软件和测试夹具,可以一站式解决用户在仪表与待测件连接,测试结果存储,以及数据分析过程中遇到的繁杂问题, 提高测试效率。


方案特点

极高的电阻测试分辨率和大测试量程

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相比其他方法,622X + 2182A 方案提供了高达 10nΩ 的电阻测试分辨率,提供了极高的性价比。


更好的发热控制

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可以使用 Delta Mode 模式消除,自动触发电流源使信号极性交替变化,电流反向法消除了任何恒定的热电失调,确保测量结果反映真实电压值,大幅度降低测量中的噪声信号。


交钥匙方案设计,可以提供完整的测试夹具方案和上位机数据采集处理软件

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       低电阻测试软件界面


系统构成

系统主要由 622X 高精度电流源(或 2400 系列高精度源表)、2182A 纳伏表、测试夹具、转接盒和上位机软件构成。

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622X 精密电流源可以输出正负电流,编程分辨率高达100fA,6221 可以输出带宽在 1mHz ~ 100KHz 的交流和任意电流波形。

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2182A 具备 1nV 电压测试分辨率,提供两个独立测试通道,可以与 622X 配合实现 Delta Mode 测试。

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                    CT-MICR-ADP转接盒

方案还提供专用转接头配件 CT-MICR-ADP,可以将622X 和 2182A 的各种输出接口(插片或者鳄鱼夹) 统一转接为标准的 4 终端 BNC 接口,方便与其他夹具或者探针台进行互连。

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通过 CT-MICR-ADP 连接微小表面贴装器件的夹具

上位机测试软件 Cyclestar-MICR 提供了多种测试模式,包括 R-T 功能,电流扫描测试功能,Delta Mode 模式。

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     在Delta Mode 下的软件测试界面

软件的 Pro 高级版还集成了脉冲测试功能,微分电导测试模式和 622X 任意波形输出功能。

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                Pro版本提供的脉冲、微分电导和任意波型输出功能

一体化测试方案可以帮助客户在短时间内搭建起微小电阻测试环境,针对不同物理尺寸,不同连接方式, 和不同测试方法都可以快速方便的进行连接测试,并在电脑端直接记录获取数据进行后续分析。


系统结构

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使用 CT-MICR-ADP 转接盒还可以将测试系统与探针台或其他夹具进行连接

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典型方案配置

电流源
6220/6221 吉时利电流源
纳伏表
2182 吉时利纳伏表
转接盒
CT-MICR-ADP 四终端BNC接口
上位机软件
TSP-2000-MICR
其他测试夹具或探针台



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