表面电阻率测试方案的电子薄膜材料

零式未来
2022-05-19
来源:零式未来

一定尺寸的线性尺度远小于其他二维尺度的材料成为薄膜材料。理论上,薄膜材料的厚度从单个原子到几毫米不等。然而,由于厚度小于100nm的薄膜被称为二维材料,薄膜材料通常指薄金属或有机物层,厚度为微米至毫米。


薄膜材料可分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料,非电子薄膜材料不需要分析其电气特性,电子薄膜可分为导电薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、电阻薄膜、磁性薄膜、压电薄膜、光电薄膜、热薄膜、超导薄膜等,表面电阻率是电子薄膜电气性能的重要参数。


测试电子薄膜材料的表面电阻率。


表面电阻率测试方案的电子薄膜材料


四探针法和范德堡法是测试表面电阻率的常用方法,但范德堡法很少用于电子薄膜材料。在大多数情况下,电子薄膜材料的表面电阻率测试对测试仪器的要求不如二维材料/石墨烯材料。测试可通过手动或书写软件自动完成。


电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战。


电子薄膜种类繁多,电阻率特性不同。


需要选择合适的SMU进行测试。


被测样品形状复杂,应选择适当的修正参数。


F(W/S)厚度修正系数对测试结果的影响


圆片直径修正系数对试验结果的影响。


温度修正系数对试验结果的影响。


试验结果对环境有影响。


采用电流换向试验消除热电势误差。


采用多次平均提高测试精度。


需要考虑测试成本。


泰克吉时利电子薄膜材料试验方案。


1.一般配置。


2450/240/20/261。


b.四探针台(间距1mm)


c.测试软件(第三方)


2.高阻电子薄膜材料试验方案。


第三方探针台。


c.手动或软件编程。


方案优势


1.不同的配置满足不同电子薄膜材料的电阻测试要求。


2.高精度SMU,可以手动测试,也可以自动编程测试。


3.性价比高。

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