一定尺寸的线性尺度远小于其他二维尺度的材料成为薄膜材料。理论上，薄膜材料的厚度从单个原子到几毫米不等。然而，由于厚度小于100nm的薄膜被称为二维材料，薄膜材料通常指薄金属或有机物层，厚度为微米至毫米。

薄膜材料可分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料，非电子薄膜材料不需要分析其电气特性，电子薄膜可分为导电薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、电阻薄膜、磁性薄膜、压电薄膜、光电薄膜、热薄膜、超导薄膜等，表面电阻率是电子薄膜电气性能的重要参数。

测试电子薄膜材料的表面电阻率。

四探针法和范德堡法是测试表面电阻率的常用方法，但范德堡法很少用于电子薄膜材料。在大多数情况下，电子薄膜材料的表面电阻率测试对测试仪器的要求不如二维材料/石墨烯材料。测试可通过手动或书写软件自动完成。

电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战。

电子薄膜种类繁多，电阻率特性不同。

需要选择合适的SMU进行测试。

被测样品形状复杂，应选择适当的修正参数。

F(W/S)厚度修正系数对测试结果的影响

圆片直径修正系数对试验结果的影响。

温度修正系数对试验结果的影响。

试验结果对环境有影响。

采用电流换向试验消除热电势误差。

采用多次平均提高测试精度。

需要考虑测试成本。

泰克吉时利电子薄膜材料试验方案。

1.一般配置。

2450/240/20/261。

b.四探针台(间距1mm)

c.测试软件(第三方)

2.高阻电子薄膜材料试验方案。

第三方探针台。

c.手动或软件编程。

方案优势

1.不同的配置满足不同电子薄膜材料的电阻测试要求。

2.高精度SMU，可以手动测试，也可以自动编程测试。

3.性价比高。