特点:
超低噪声(6430为0.4fA p-p ,6517B和6514<1fA),高达1016 Ω的电阻测量 (6517B),远程预放大器可以位于信号源 (6430),低输入端压降,内置 ±1kV 电压源,提供扫描功能 (6517B),适用于测量试样材料的体积和表面电阻的选配8009型电阻率测试盒 (6517B),即使在低电平信号上也能实现高测量速度,可编程数字 I/O 和内置接口,
优势:
确保对设备和材料研究中常见的超低电流实现更精确的测量,精确测量超高电阻材料和绝缘体,允许直接或短暂连接到信号源,较大限度地减少电缆噪声等噪声源,消除影响低电流测量精度的误差,简化了执行泄漏、击穿和电阻测试,以及对高电阻率材料执行体积 (Ω-cm) 和表面电阻率 (Ω/square) 测量的过程,防止您接触潜在危险电压 — 打开测试盒盖子时自动关闭仪器的电压源,支持更快的低电平元器件测试,简化构建自动化元器件测试系统的过程。
430亚fA程控源表集合了吉时利源表 和源测量单元(SMU)产品的电压源和电流源及测量功能,比静电计灵敏度更高,噪声更低,输入阻抗更高。这种独特的性能是通过6430远端前置放大器实现的,它提供非常灵敏的双向放大器,用于测量或产生被测试器件的电流。远端前置放大器输出的高电平信号通过一条2米长的线缆发送到控制主机上。这使得用户可以直接, 或者近距离连接该信号,减少线缆噪声的影响。
主要特点:
0.4fA p-p (4E-16A)噪声
远端前置放大器可以位于信号源处以减少线缆噪声
电压测量的输入阻抗>1016Ω
高速——达2000读数/秒
分辨率达6位半
快速元件特性分析,带可编程数字I/O和接口
6430按照静电计无法达到的速度测量 电压、电流与电阻。它可以每秒读取最多2000源/测量读数,读入内部存储器中。可以测量快速小电流,100nA量程可响应短至5ms的信号,较大量程可响应几百微秒的信号。6430的独特特点包括其优秀的低电流灵敏度和远端前置放大器,这通过避免长输入线缆发挥了灵敏度的作用。远端前置放大器是6430反馈测量系统的主要部分,虽然通过长达2米,带载高电平信号的连接线缆它能离开主机一段距离但是它不能独立于测量主机工作。
6430的功能使其同样适于在测试实验室的研究工作和复杂元件的评估,结合其它源测量仪器或SMU用于在较高电平上进行低电流、高电阻或高灵敏度的半导体测量。6430的低噪声和漂移性能也非常适合高阻性纳米线和其它高阻纳米材料的研究。
6430能以超过2000个读数/秒的速度 读至其内存缓冲器。IEEE-488总线输出能每秒发送达75个源/测量读数至外部计算机控制器,包括通过/失效指示。
6430能提供达2.2W的4象限源, 以及低至亚fA和微伏电平的测量 灵敏度。在高达20V,它能测量从1pA量程(仅0.4fA峰峰值噪声)至100mA量程的电流。可提供200mV至200V的电压范围。电流和电压量程 设置定义了源或阱电压或电流的**值。
半导体测量基于FET元件中的栅极漏电或沟道漏电会在 MOSFET、FET、模拟开关和许多其它电路中产生误差。通过允许研究人员测量极低电平的电流和电压,6430能帮助他们了解这些元件的设计 局限以及研究替代器件的结 构或材料。
测量FET的栅极漏电和沟道电
6430具有的优秀低电流测量能力(<0.4fA峰峰值)使其对于单电子晶体管(SET)和量子点研究非常有用。使用类似于锁定的技术,6430能以1aA灵敏度测量 电流(10–18A=6电子/秒)。
下图的数据表明6430在5小时期间内稳定性非常突出,而且短期的低噪声性能优秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升时间在1pA量程上实现微弱信号采集。插图中的细节是滤波信号的截图,显示了6430型在最开始的100秒期间的低噪声性能 (仅200aA峰峰值)。在温度变化约1°C的实验室环境下提取数据,其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引线接防护罩。